第343章 有分量!
情况,在精密的机器中加水构建浸润环境,既要考虑实际性能,又要担心污染,如果在这种“替代方案”花费精力,耽误了光源的研究,就有可能被对手反超。
因为林本健的这个想法太过简单或者说太过理想化,而且等于否定了其它巨头正在走的技术路线,遭到了各大半导体巨头的集体拒绝,而且一度给台积电施压制止林本健到处乱窜搅局。
当时在光刻机领域市场份额较小的荷兰厂家阿斯麦知道这个事情后,决定赌一把,因为这时候在市场里本来也无法和尼康等巨头竞争,他们押注沉浸式技术有可能实现以小博大。
于是林本健和阿斯麦双方一拍即合,双方合作仅用一年多的时间,也就是在2004年,阿斯麦就做出了第一台样机。
而林本健随后又说服了台积电使用这个方案,并完成了产品生产,让台积电在芯片制程技术上一举追上了之前遥遥领先的巨头英特尔。
台积电成功批量生产证明了浸入式技术的工艺可能性,而且浸入式属于小改进大效果,产品成熟度非常高,随后英特尔、ibm等公司纷纷决定跟进,购买阿斯麦的光刻机。
而尼康虽然随后也宣布自己的157nm产品样机完成,但是因为整个的技术并不是非常成熟,良品率还无法
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