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第476章 提前几十年开始布局

还差得远啰!”
    说到最后,周宏反而一脸失落,也没了开始的兴致。
    “哦,真复杂!”李秀成做出一脸我很懵的表情,然后话锋一转道:“但我大致抓到了两个重点,光源、物镜折射率!
    想要提升芯片的生产效率和良率,是必须要同时发展光刻机的内部构造和工作模式。
    那么我们可以从整体因素考虑,为什么不换一种光源,然后再换一种折射介质?”
    “嗯?”周宏回过神来,有些奇怪的说道:“现在光线就G线和I线两种,波长在三百多到四百左右,确实比较大,而且国际上的公同认知是在193nm缩短到157nm制程时会出现瓶颈。
    但折射介质是什么说法?”
    见周宏来了兴趣,李秀成嘴角微勾然后迅速恢复原状。
    这也就是现在的干式微影光刻机和浸没式光刻机的最大区别了!
    他故意做出一脸不确定的说道:“光线我觉得可以多做试验,把什么XYZ射线啊,紫外线,极光都试试,总能找到最合适的。
    至于折射率嘛,现在的光刻机光波是在空气中传播,然后照射暴光。
    但我们读书时不是有个知识点,是光进入不同的介质波长会有所改变嘛?
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